In einem ressourcenintensiven Herstellungsprozess, der qualitativ hochwertigste Ergebnisse in einem hochreinen Umfeld verlangt, müssen Halbleiterhersteller eine ständig steigende globale Nachfrage nach ihren Produkten decken und zugleich die Kosten im Griff behalten. Ungeplante Ausfälle und verunreinigte Chargen können sich sofort und erheblich auf Lieferpläne und den Gewinne auswirken.
Um effiziente und sichere Fertigungsumgebungen aufrecht zu erhalten, ist jede Komponente von Gaszufuhrsystemen, Reinräumen und Spülsystemen für Verunreinigungen unerlässlich. Die Zusammenarbeit mit Ausrüstungslieferanten mit globaler Reichweite und profunder Expertise in den Fertigungsprozessen für Halbleiter ist ebenfalls Schlüssel zur Modernisierung bestehender Fertigungsanlagen und zur Sicherstellung, dass neue Anlagen die höchsten operativen Standards einhalten und den erwarteten Durchsatz erreichen.
Mit Emerson gewinnen Halbleiterhersteller und die OEMs, die ihnen zuarbeiten, die richtige Kombination aus technologischer Innovation, Zuverlässigkeit und der Fähigkeit, Systemintelligenz in den Fertigungsprozess einzubringen. Unsere Präzisionssteuerungen für Temperatur, Durchfluss, Druck und Position helfen Fertigungsunternehmen, dabei, schrittweise, modulare Verbesserungen in ihren Anwendungen zu implementieren, während unsere hochentwickelten digitalisierten Lösungen Sie zudem im Bereich der vorausschauenden Wartung und der optimierten Wafer-Erträge an die Spitze bringen können.
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Die AVENTICS Serie AV03/AV05 bildet eine zuverlässige Basis für kompakte Handling-Systeme und komplexe Automatisierungslösungen. Im Bereich Maschinensicherheit bietet die Serie AV03/AV05 intelligente Lösungen, die Ihren Aufwand für eine sichere Konstruktion deutlich verringert. Mit Integration der Feldbus- und E/A-Module der Serie AES sind auch alle Erfordernisse für ein Prozessleitsystem erfüllt. Die Serie AV03/AV05 ist einfach zu konfigurieren, einfach zu bedienen und leicht erweiterbar sowie IIoT-zukunftssicher durch die Integration von OPC UA und dem digitalen Zwilling
Regler der Serie 449-254 sind Druckminderer für ultrahochreine Anwendungen mit hohem Durchfluss, die ideal für mit hohem Druck betriebene Bulkspezialgas-Versorgungssysteme (BSGS) geeignet sind. Die Druckminderer der Serie 449-254 bieten einen Durchflusskoeffizienten Cv = 1,0, eine Oberflächengüte innen von Ra 0,25 µm und sind mit einer Innengarnitur aus Hastelloy® lieferbar. Eingangsdruck von 1 500 psig (103 bar) mit Ausgangsdrücken bis 400 psig (27,6 bar).
Leitungsdruckminderer der Serie 23 für ultrahochreine Anwendungen bieten eine Oberflächengüte von Ra 0,25 µm bei großen Durchflüssen bis 950 Nl/min. Die Serie 23 mit fester mechanischer Verbindung zwischen Ventilstößel und Membran bietet eine Ausführung ohne Feder oder Gewinde im Gasraum mit einem Eingangsdruck von 250 psig (17,2 bar) und einem Ausgangsdruck bis 100 psig (6,9 bar). Ideal für den Einsatz als Leitungsdruckminderer in Systemen mit hohem Durchfluss und optimal für Spülvorgänge.
Regler der Serie 64-3200 sind Druckminderer mit fester mechanischer Verbindung zwischen Ventilstößel und Membran für ultrahochreine Anwendungen mit hohem Durchfluss, Oberflächengüte von 10 Ra 0,25 µm und Innengarnitur optional in<sup>Hastelloy®</sup> . Maximale Durchflussraten bis zu 31,8 scfm (900 slpm), mit Eingangsdrücken von 150, 1 000, 1 500 psig (10,3, 69,0, 103 bar) und Ausgangsdrücken bis 200 psig (13,8 bar). Ideal für Bulk Spezialgasversorgungssysteme (BSGS), 1/2" Entnahmestellen, Werkzeuganschlüsse und Gasflaschenschränke.
Regler der Serie 74-3000 sind Druckminderer für ultrareine Anwendungen in einem gewindelosen Design mit niedrigem internen Volumen und einem großen Durchflusskoeffizienten von Kv = 0,5. Dieser Druckminderer ist mit einer Oberflächengüte von 5 oder 10 Ra 0,13 µm oder 0,25 µm lieferbar. Eingangsdrücke von 41,3, 69, 241 bar (600, 1 000 oder 3 500 psig) mit Ausgangsdrücken bis 10,3 bar (150 psig). Ideal für den Einsatz in Spülsystemen mit großem Durchfluss, 1/2" Entnahmestellen, der Regelung von Spezialgasen und für die Fertigung von Halbleitern.
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Die Halbleiterherstellung ist der industrielle Prozess zur Herstellung von Computerchips für heutige elektronische Geräte wie Mobiltelefone, Computer, Fernseher, aber auch Kühlschränke und Autos.
Die Lösungen von Emerson stellen durch minimale Medienkontamination eine hohe Reinheit des Prozesses sicher. Unsere Produkte sorgen auch unter rauen Bedingungen für zuverlässige Leistung und sind ideal für den Einsatz in einer streng kontrollierten Reinraumumgebung. Unsere Produkte und Lösungen wurden so entwickelt, dass sie auch unter den anspruchsvollen Bedingungen der Halbleiterherstellung einen zuverlässigen und effizienten Betrieb ermöglichen, und neben einer hohen Leistung auch ein hohes Maß an Zuverlässigkeit bieten, sodass der Chipherstellungsprozess zuverlässigen und optimal läuft.
Von entscheidender Bedeutung sind die Produkte von Emerson für einen außerordentliche operative Leistung in Anwesenheit von Spezialgasen. Das trägt dazu bei, dass Wartungs- und Ausfallzeiten abnehmen und Produktionsprobleme proaktiv verhindert oder behoben werden können.
Die digitale Transformation der Wafer-Produktion in der Halbleiterindustrie kann die Transparenz, Präzision und Genauigkeit in jedem Schritt des Produktionsprozesses steigern und Daten sammeln, mit denen Sie die Effizienz und Produktivität Ihrer Anlagen verbessern können.
Daten sind der Schlüssel zur Digitalisierung. So lassen sich Druckänderungen beispielsweise ohne Echtzeit- und Verlaufsdaten nur schwer wahrnehmen und manifestieren sich erst dann als Problem, wenn sich diese negativ auf die Waferqualität oder die Produktivitätsstufe auswirken. Die digitale Transformation ermöglicht es dem Bediener, kleinste Druckabweichungen zu erkennen und Leckagen oder andere Probleme proaktiv zu beheben, noch ehe es zu einer Beeinträchtigung der Produktion oder Qualität kommt.
Viele korrosive und brennbare Gase sowie Chemikalien wie Schwefelwasserstoff, Wasserstoffbromid und Wolframhexafluorid sind für die Halbleiterherstellung unerlässlich. Sie können jedoch zu schweren Verletzungen der Bediener oder zu Schäden an den Maschinen führen, die von ihnen bedient werden.
Eine Voraussetzung für vorbeugende Wartung ist, die Vorgeschichte des Maschinenzustands umfassend zu kennen. Durch den Echtzeitzugriff auf Daten können Sie informierte, vorzeitige Entscheidungen über Ihre Fertigungssysteme und Serviceressourcen treffen, bevor Probleme auftreten, und zu geringerer Produktivität, Schäden oder Verschwendung von Energieverbrauch führen. Wartungsarbeiten können auf bestimmte Zeiten für die geplante Wartung beschränkt werden, und die Anlage erlebt keine Probleme durch Leckagen, Korrosion und andere Beeinträchtigungen, die Schritt für Schritt zutage treten können.
Die Waferherstellung ist ein energieintensiver Prozess. Rund 46 Liter hochreines Wasser werden benötigt, um einen Quadratzoll eines Mikrochips herzustellen. Die Leistungsnutzungsfläche eines Mikrochips mit einer Fläche von einem Quadratzoll beträgt etwa 7,5 kWh.
Dazu kommen neben Wasser und Energie auch enorme Mengen an korrosiven Gasen zum Einsatz. Die Nachfrage nach Strom und Wasser ist bei der Halbleiterherstellung so hoch, dass eine saisonale Dürre die Produktionsleistung gefährden kann. Halbleiterfabriken verbrauchen in der Regel eine Wassermenge, die dem Tagesverbrauch einer mittelgroßen Stadt entspricht.
Deshalb geht es in Nachhaltigkeitsinitiativen für Halbleiterhersteller nicht nur um Kostenreduzierung. Sie tragen auch dazu bei, die Betriebsfortführung zu gewährleisten. Es ist von entscheidender Bedeutung, Systeme zu implementieren, die Ihnen helfen, jeden Aspekt des Energie- und Wasserverbrauchs zu überwachen, Leckagen zu erkennen und die Ausrüstungen proaktiv instandzuhalten.
Unsere Produkte für Fluidregelung und Pneumatik sind so konzipiert, dass sie selbst in Anwesenheit von Spezialgasen, wie sie für die Wafer- und Chipherstellung unerlässlich sind, eine überlegene Leistung erbringen. Ausgestattet mit IIoT-Sensoren und erweiterten Vernetzungsmöglichkeiten können Sie Temperatur, Durchfluss, Druck und Position mit mehr Präzision und höherer Energieeffizienz überwachen als dies mit analogen Systemen möglich ist.
Unsere Proportionalregelung, die Universal- und Kryoventile sowie die Druckregelungslösungen und Pneumatikreglern ermöglichen die präzise kalibrierte Prozesssteuerung, die für zum Erreichen höchster Zuverlässigkeitsstandards bei Halbleitern unerlässlich sind. Darüber hinaus hilft Ihnen unser unübertroffenes globales Netzwerk gern, auch anspruchsvollste Zeitpläne mit minimalen Ausfallzeiten und Produktionsunterbrechungen einzuhalten.
