Les fabricants de semi-conducteurs ont pour mission de répondre à la demande mondiale sans cesse croissante de produits tout en maîtrisant les coûts d’un procédé de fabrication exigeant des rendements de haute qualité et de haute pureté. Les temps d’arrêt imprévus et les lots compromis peuvent avoir des répercussions immédiates et significatives sur le calendrier de livraison et les bénéfices.
Dans le cadre des efforts visant à maintenir des environnements de fabrication efficaces et sûrs, chaque composant des systèmes de distribution de gaz, des salles blanches et des systèmes de purge de contaminants est essentiel. La collaboration avec des fournisseurs d’équipements disposant d’une présence mondiale et d’une expertise approfondie dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs est également essentielle pour moderniser les usines de fabrication existantes et garantir que les nouvelles installations répondent aux normes d’exploitation les plus élevées et au rendement attendu.
Grâce à Emerson, les fabricants de semi-conducteurs et les équipementiers qui les soutiennent obtiennent la bonne combinaison d’innovation technologique, de fiabilité et de capacité à apporter des informations système au procédé de fabrication. Nos contrôles précis de la température, du débit, de la pression et de la position aident les fabricants à mettre en œuvre des améliorations graduelles et modulaires à leurs applications, tandis que nos solutions sophistiquées numérisées peuvent également vous permettre de bénéficier d’une maintenance prédictive de pointe et d’optimiser les rendements en wafers.
Produits associés
Les séries AV03/AV05 d’AVENTICS forment une base fiable pour les systèmes de manipulation compacts et les solutions d’automatisation complexes. Dans le domaine de la sécurité machine, la série AV03/AV05 offre des solutions intelligentes qui réduisent considérablement vos efforts de création d’une solution sécurisée. Grâce à l’intégration du bus de terrain et des modules d’E/S de la série AES, toutes les exigences pour les systèmes de contrôle-commande sont également disponibles. Les séries AV03/AV05 sont faciles à configurer, à utiliser et à faire évoluer à l’aide de l’IIoT du futur grâce à l’intégration d’OPC UA et du jumeau numérique.
Les détendeurs série 449-254 à haut débit et haute pureté conviennent aux systèmes de distribution de gaz de spécialité en vrac à haute pression (BSGS). La série 449-254 présente un Cv de 1,0, un état de surface de 10 Ra et est disponible avec des éléments internes en Hastelloy®. La pression amont est de 103 bar avec des pressions aval pouvant atteindre 27,6 bar.
Le détendeur en ligne ultra haute pureté TESCOM™ série 23 offre une finition de 10 Ra micropouces avec des capacités de débit élevées pouvant atteindre 950 LS/min. La membrane cintrée de la série 23 présente une conception interne sans ressort ni filetage et peut fournir une pression amont de 17,2 bar et une pression aval allant jusqu’à 6,9 bar. Idéale pour la régulation en ligne à débit élevé ; convient parfaitement à la purge.
Le détendeur à membrane liée ultra haute pureté, à haut débit série 64-3200 présente un état de surface de 0,25 micromètre ; il est disponible avec des éléments internes en Hastelloy<sup>®</sup>. Les débits maxima atteignent 900 LS/min, avec des pressions amont de 10,3, 69,0, 103 bar et des pressions aval jusqu’à 13,8 bar. Idéal pour l’utilisation dans les systèmes de distribution de gaz de spécialité en vrac (BSGS), les points d’utilisation 1/2, les raccordements d’outils et les armoires à gaz.
Le détendeur série 74-3000 ultra haute pureté présente des états de surface de 5 Ra ou 10 Ra, un coefficient Cv de 0,5 (débit élevé) et une conception interne sans filetage et à faible encombrement. Les pressions amont sont de 41,3, 69 ou 241 bar et les pressions aval peuvent atteindre 10,3 bar. Idéal pour les systèmes de purge à haut débit, les points d’utilisation 1/2", la régulation des gaz de spécialité et la fabrication des semi-conducteurs.
Afficher plus de produits
La fabrication de semi-conducteurs est le procédé industriel utilisé pour créer des puces informatiques pour les dispositifs électroniques d’aujourd’hui, tels que les téléphones cellulaires, les ordinateurs, les téléviseurs, les réfrigérateurs et les automobiles.
Les solutions d’Emerson garantissent une pureté élevée du procédé avec une contamination minimale du fluide. Nos produits offrent des performances fiables dans des conditions difficiles et sont parfaits pour une utilisation dans un environnement de salle blanche soumis à des normes rigoureuses. Conçus pour un fonctionnement fiable et efficace dans les conditions difficiles de la fabrication des semi-conducteurs, nos produits et solutions offrent des performances élevées et un degré élevé de fiabilité, pour procédé de fabrication de puces sûr et optimisé.
Qui plus est, les produits Emerson offrent un fonctionnement supérieur en présence de gaz de spécialité, ce qui contribue à réduire la maintenance et les temps d’arrêt et à prévenir ou à résoudre de manière proactive les problèmes de production.
La transformation numérique de la fabrication de wafers de semi-conducteurs permet d’offrir transparence, précision et précision à chaque étape du procédé de fabrication, et permet de collecter des données qui peuvent améliorer l’efficacité et la productivité de l’usine.
Les données sont le principal facteur de numérisation. À titre d’exemple, les changements de pression sont difficiles à percevoir sans données en temps réel et historiques et ne peuvent pas se manifester comme un problème tant qu’il n’y a pas d’impacts négatifs sur la qualité des wafers ou les niveaux de productivité. Les transformations numériques permettent aux opérateurs de détecter les écarts de pression infimes et de traiter de manière proactive les fuites ou autres problèmes avant tout impact sur la production ou la qualité.
De nombreux gaz et produits chimiques corrosifs et inflammables, tels que le sulfure d’hydrogène, le bromure d’hydrogène et l’hexafluorure de tungstène, sont essentiels à la fabrication des semi-conducteurs. Ils peuvent également causer de graves blessures aux opérateurs ou endommager physiquement les machines qui les manipulent.
La maintenance préventive dépend de l’élaboration d’un compte rendu complet sur l’état des machines. En accédant aux données en temps réel, vous pouvez prendre des décisions éclairées et préemptives à propos de vos systèmes de fabrication et de vos équipements de service avant que des problèmes n’apparaissent et n’entraînent une baisse de votre productivité, des dommages ou un gaspillage d’énergie. La maintenance peut être limitée aux périodes de service planifiées et l’usine peut éviter les problèmes causés par des fuites, une corrosion ou d’autres dégradations qui peuvent se produire progressivement.
La fabrication de wafers est un procédé gourmand en énergie. Environ 46 litres d’eau ultrapure sont nécessaires pour fabriquer une micropuce d’un pouce carré. L’empreinte de l’utilisation de l’énergie d’un pouce carré de micropuce est d’environ 7,5 kWh.
En plus de l’eau et de l’énergie, d’énormes quantités de gaz corrosifs sont utilisées dans le procédé. La demande en énergie et en eau est si élevée pour la fabrication de semi-conducteurs qu’une sécheresse saisonnière peut compromettre la production industrielle. Les usines des semi-conducteurs consomment généralement des quantités d’eau équivalentes à la consommation quotidienne d’une ville de taille moyenne.
Par conséquent, les initiatives en matière de durabilité pour les fabricants de semi-conducteurs ne se limitent pas à la réduction des coûts. Elles contribuent également à assurer la continuité des opérations. Il est extrêmement important de mettre en œuvre des systèmes qui peuvent vous aider à surveiller tous les aspects de la consommation d’énergie et d’eau, à détecter les fuites et à maintenir l’entretien proactif des équipements.
Nos produits pneumatiques et de contrôle des fluides sont conçus pour offrir des performances supérieures, même en présence de gaz de spécialité essentiels à la fabrication des wafers et des puces. Équipés de capteurs IIoT et d’une connectivité avancée, ils vous aident à surveiller la température, le débit, la pression et le contrôle de la position avec une plus grande précision et une plus grande efficacité énergétique par rapport aux systèmes analogiques.
Nos vannes de régulation proportionnelle, à usage général et cryogéniques, nos solutions de régulation de la pression et nos régulateurs pneumatiques peuvent vous fournir un contrôle de procédé hautement étalonné, indispensable pour atteindre les normes de fiabilité les plus élevées dans l’industrie des semi-conducteurs. De plus, notre réseau mondial sans précédent peut vous aider à respecter les calendriers les plus exigeants, en réduisant considérablement les temps d’arrêt et les interruptions de production.
