TESCOM™ 74-3000 시리즈 무나사산 압력 레귤레이터

74-3000 시리즈 초고순도 감압 레귤레이터는 5 Ra 또는 10 Ra 표면 마감, 고유량 Cv = 0.5 및 내부 나사산이 없고 적은 내부 용적 구조를 제공합니다. 주입구 압력은 600, 1000 또는 3500psig/41.3, 69 또는 241bar이며, 배출구 압력은 최대 150psig/10.3bar입니다. 고유량 퍼징 시스템, 1/2" POU(사용점), 특수 가스 조절 및 반도체 제조에 사용하기에 이상적입니다.

사양

최대 주입구 압력300, 600, 1000, 3500psig/20.7, 41.4, 69.0, 241bar
배출구 압력 범위  100mm Hg 절대 - 15psig, 3~30, 3~60, 4~100, 및 4~150psig<br>  100mm Hg 절대 - 1.0bar, 0.21~2.1, 0.21~4.1, 0.28~6.9 및 0.28~10.3bar
소재본체: 316L VAR 스테인리스 강(전해 연마)<br>다이어프램: Hastelloy®<br>스템, 씰 및 나머지 부품: 316 스테인리스 강
밸브 시트  3500psig/241bar: Vespel®<br>  300 및 1000psig/20.7 및 69.0bar: PCTFE<br>  600psig/41.4bar: Teflon® PFA
운영 온도Vespel® 시트: -40~300°F/-40~149°<br>CPCTFE 시트: -40~140°F/-40~60°C<br>Teflon® PFA 시트: -40~160°F/-40~71°C
포트 크기 및 유형1/4, 3/8, 1/2 관 말단 <br>1/4 수형 고정<br>1/2 수형 스위블, 암형 스위블
유량 용량Cv = 0.5
부하 유형핸드
무게3.2lbs/1.5kg
추가 정보맞춤 개조나 전체 시스템 솔루션에 대해서는 해당 지역 영업 사무소에 문의하십시오.