半导体制造商一方面要满足持续增长的全球需求，另一方面还需在资源密集型的制造流程中，既能满足高质量和高纯度的严格要求，又做到控制成本。 突发停机或批次受损，会立即对交付周期和盈利能力造成重大影响。
为保持制造环境的高效与安全运行，气路系统、洁净室以及污染物清除系统中的每一个部件都应予以重视。 与具备全球服务能力并深谙半导体制造过程的设备供应商合作，是改造现有晶圆厂并推动新建工厂按既定产能目标稳定运行的解法。
选择艾默生，半导体制造商及其配套 OEM 厂商可引入技术创新与运行可靠性的组合能力，并将系统智能融入制造流程之中。 我们通过精密控制温度、流量、压力和位置，帮助制造商分阶段、模块化升级应用系统，同时结合精良的数字化解决方案，成就预测性维护能力并优化晶圆良率。
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AVENTICS AV03/AV05 系列为紧凑搬运系统和复杂自动化解决方案奠定可靠基础。AV03/AV05 提供智能的机器安全解决方案，降低您在创造安全设计中的工作量。AES 整合了现场总线和 I/O 模块，并符合分布式控制的所有要求。AV03/AV05 系列易于配置、使用和扩展，并且而且由于 OPC UA 和数字孪生技术的集成，该系列产品能对未来 IIoT 长久支持
449-254 系列高纯度、高流量减压阀非常适合用于高压大宗特种气体输送系统 (BSGS)。449-254 系列提供 Cv=1.0 的流通能力，表面光洁度为 10 Ra，并配备 Hastelloy® 阀内件。入口压力为 103bar/1500psig，出口压力可高达 27.6bar/400psig。
23 系列超高纯度直连式减压阀具有 10 Ra 微英寸的光洁度，且流通能力高达 950SLPM。23 系列使用束缚膜片，采用内部无弹簧且无螺纹设计，入口压力为 17.2bar/250psig，出口压力可达 6.9bar/100psig。非常适合用于高流量直连式减压阀，是吹扫应用的理想选择。
64-3200 系列超高纯度、高流量束缚膜片减压阀提供 0.25 微米/10 Ra 微英寸的表面光洁度，并可提供 Hastelloy<sup>®</sup> 阀内件。最大流量可达 900SLPM/31.8SCFM，入口压力为 10.3、69.0、103bar/150、1000、1500psig，出口压力可高达 13.8bar/200psig。非常适合用于大宗特种气体系统 (BSGS)、1/2" 使用点、工具连接以及气柜。
74-3000 系列超高纯度减压型调压器具备 5Ra 或 10Ra 的表面光洁度，提供 Cv = 0.5 的流通能力，并采用内部无螺纹和较小内体积设计。入口压力为 600、1000 或 3500psig/41.3、69 或 241bar，出口压力可高达 150psig/10.3bar。非常适合用于高流量吹扫系统、1/2" 使用点、特种气体调节和半导体制造。
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半导体制造是为现代电子设备（手机、电脑、电视、冰箱、汽车等）生产计算机芯片的工业过程。
艾默生的解决方案确保过程的高纯度，并使介质污染降至极低。 我们的产品在恶劣条件下亦具有可靠性能，是严格洁净室环境的理想选择。 我们的产品和解决方案经过专门设计，在半导体制造的困难工况下可靠高效地运行，具备高性能和高可靠性，进而实现可靠的芯片制造过程。
更关键的是，艾默生产品在特种气体下也能出色运行，减少维护和停车时间，主动预防或修复生产问题。
半导体晶片制造进行数字化转型后，制造过程的每一步都将具备透明性、精密性和准确性，而且生产者能掌握提升工厂效率与生产力的数据。
数据是数字化的关键因素。 打个比方，在缺乏实时数据和历史数据的情况下，我们很难感知压力变化，在晶片质量或产能已受到负面影响之前，压力变化不会表现出问题。 而数字化转型后，操作员可以检测出微小的压力偏差，在影响生产或质量之前主动解决泄漏等问题。
许多腐蚀性、易燃气体和化学品（例如硫化氢、溴化氢和六氟化钨）对于半导体制造至关重要。 它们对操作员有重伤风险，也可能对机器造成物理损坏。
要做到预防性维护，应全面掌握机器的运行状况。 若能实时访问数据，则可以针对制造系统和服务资产做出可靠、先行的决策，预防问题，避免生产力降低、损坏或能源浪费等情况。 维护工作只需在计划保养期内进行，工厂足以避免因泄漏、腐蚀、降级等积累性诱因引发的问题。
晶圆制造是一种资源密集型工艺。 制造一平方英寸的微芯片需要用掉约 46 升的超纯水。 耗电量约为 7.5 kWh。
除水和电外，该过程还要消耗大量的腐蚀性气体。 如此高需求的电力和水，一次季节性干旱就可能影响产能。 半导体工厂的日耗水量相当于一座中等城市。
因此，推进可持续发展举措，不仅仅是为了降低成本。 这些举措同样有助于维持运营连续性。 因此必须实施监测能源和水的消耗情况、监测泄漏风险并主动维护设备的系统。
我们的流体控制和气动产品即使在特种气体（晶圆和芯片制造所必需）下也能发挥出色性能。 这些产品配备 IIoT 传感器，具有良好连通性，能比模拟系统更精确、更节能地监测温度、流量、压力和位置控制。
我们的比例控制产品、通用阀、低温阀、压力控制解决方案和气动控制器为您提供高度校准的过程控制，使半导体达到很高的可靠性标准。 此外，我们出色的全球网络能尽可能减少停车和生产中断，帮助您严格在生产期内完成生产。
