半導体メーカーは、常にグローバルな製品需要を満たしつつ、高品質で高純度の生産が求められる資源を集中的な製造プロセスでコストを管理することが課題となっています。 予定外のダウンタイムや危険にさらされたバッチは、納期や利益に即座に重大な影響を与える可能性があります。
効率的で安全な製造環境を維持するためには、ガス供給システム、クリーンルーム、汚染物質のパージシステム内のすべての部品が必要不可欠です。 また、既存の製造工場の近代化と、新しい施設が運用の最高基準と期待されるスループットを満たしていることを確認するために、グローバルな範囲と深い専門知識を持つ装置サプライヤーと協力することも重要です。
Emerson と協力することで、半導体メーカーとそれらをサポートする OEM は、技術革新、信頼性、および製造プロセスにシステム インテリジェンスをもたらす能力の適切な組み合わせを実現できます。 温度、流量、圧力、位置を正確に制御することで、メーカーはアプリケーションに漸進的なモジュール式の改善を実装するのに役立ちますが、当社の高度なデジタル化ソリューションは、予知保全の最先端と最適化されたウェーハの生産率へとお届けすることもできます。
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AVENTICS シリーズ AV03/AV05 は、コンパクトなハンドリングシステムと複雑な自動化ソリューションの両方に信頼できる基盤を提供します。機械の安全性において、AV03/AV05 シリーズは安全な設計を作成する労力を大幅に削減するインテリジェントソリューションを提供します。AES シリーズのフィールドバスと I/O モジュールの統合により、分散制御のすべての要件も利用できます。シリーズ AV03/AV05 は、OPC UA とデジタルツインの統合により、設定の簡単さ、使いやすさ、拡張しやすさ、IIoT の将来性を備えています
449-254シリーズ高純度、高流量減圧レギュレータは、高圧バルク特殊ガス供給システム (BSGS) に最適です。449-254シリーズはCv = 1.0、10 Raの表面仕上げを備え、Hastelloy®トリムで使用できます。入口圧力は1500 psig / 103 baで、出口圧力は最大400 psig / 27.6 barです。
23シリーズ超高純度インラインレギュレータは、最大950 SLPMの高流量機能を備えた10 Raマイクロインチ仕上げを提供します。タイドダイアフラム23シリーズは内部がスプリングレスかつスレッドレスの設計で、入口圧力は250 psig / 17.2 bar、出口圧力は最大100 psig / 6.9 barです。パージに優れた高流量インラインレギュレータでの使用に最適です。
64-3200シリーズの超高純度、高流量連結ダイアフラム型減圧レギュレータでは、10 Raマイクロインチ / 0.25マイクロメートルの表面処理が提供され、Hastelloy<sup>®</sup>トリムで使用できます。最大流量は 31.8 SCFM / 900 SLPMで、入口圧力は150、1000、1500 psig / 10.3、69.0、103 bar、出口圧力は200 psig / 13.8 barです。バルク特殊ガスシステム (BSGS)、1/2" ユースポイント、工具接続部、ガスキャビネットでの使用に理想的です。
74-3000 シリーズ超高純度減圧レギュレータには、5 Ra または 10 Ra の表面仕上げが施され、高い流量 Cv = 0.5 を提供する内部にねじを使わない内部体積が小さい設計となっています。入口圧力は 600、1000、または 3500 psig / 41.3、69、または 241 bar で、出口圧力は最大 50 psig / 10.3 barです。高流量パージシステム、1/2 インチのユースポイント、特殊ガスの調整、および半導体製造での使用に最適です。
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半導体製造は、現在の携帯電話、コンピュータ、テレビ、冷蔵庫、自動車などの電子機器にコンピューターチップを作るための産業プロセスです。
Emerson のソリューションは、メディアの汚染を最小限に抑えながらプロセスの高純度を保証します。 当社の製品は、過酷な条件下でも信頼性の高い性能を発揮し、厳格なクリーンルーム環境での使用に最適です。 当社の製品およびソリューションは、半導体製造の難しい条件下で信頼性の高い効率的な動作を実現するために設計され、高性能と高い信頼性を提供し、信頼性と最適化されたチップ製造プロセスを実現します。
Emerson の製品は、特殊なガスの存在下でも優れた運用を可能にし、メンテナンスやダウンタイムを軽減し、生産上の問題を積極的に防止または修復します。
半導体ウェーハのデジタルトランスフォーメーションにより、製造プロセスのあらゆる段階で透明性、精度、正確性が得られます。また、収穫データも提供できるため、工場の効率性と生産性が向上します。
データはデジタル化の重要な要素です。 例えば、圧力の変化は、リアルタイムデータと過去のデータがなければ認識するのが難しく、ウェハーの品質や生産性レベルに悪影響を及ぼすまでは、問題として表面化しない可能性があります。 デジタルトランスフォーメーションにより、オペレータは微細な圧力偏差を検出し、生産や品質に影響がある前に漏れやその他の問題に積極的に対処できます。
半導体製造には、硫化水素、ブロマイド水素、六フッ化タングステンなどの多くの腐食性、可燃性ガス、化学薬品が不可欠です。 また、オペレータに重傷を負ったり、取り扱う機械に物理的な損傷を与える可能性があります。
予防保全は、機械の状態を包括的に発展させられるかにかかっています。 リアルタイムでデータにアクセスすることにより、製造システムやサービスアセットに関する情報を得られるので、問題発生時の生産性の低下、損害、無駄なエネルギー使用を未然に防ぐことができます。 メンテナンスを計画されたサービス期間に制限することができ、プラントは漏れ、腐食、または徐々に発生する可能性のあるその他の劣化によって引き起こされる問題を回避できます。
ウェーハ製造は大量のエネルギーを消費するプロセスです。 平方インチのマイクロチップの製造には、約 46 リットルの超純水を必要とします。 平方インチのマイクロチップの電力利用フットプリントは約 7.5 kWh です。
水と電力に加えて、このプロセスには多くの腐食性ガスが使用されています。 半導体製造における電力と水の需要はとても高く、季節的な干ばつは工場生産を危険にさらす可能性があります。 半導体工場では通常、中規模都市の 1 日あたりの使用量に相当する水を消費します。
そのため、半導体メーカーにとっての持続可能性への取り組みは、コスト削減だけにとどまりません。 また、運用継続を保証するのに役立ちます。 エネルギー消費と水消費のあらゆる側面を監視し、漏れを検出し、機器を予防的に維持できるシステムを導入することが非常に重要です。
当社の流体制御および空気圧製品は、ウェーハやチップ加工に欠かせない特殊ガスの存在下でも優れた性能を発揮するように設計されています。 IIoT センサと高度な接続性を備え、アナログ システムよりも高い精度とエネルギー効率で温度、流量、圧力、位置制御を監視できます。
当社の比例制御、汎用、および低温バルブ、圧力制御ソリューション、空気圧コントローラーは、半導体の最高の信頼性基準を達成するために不可欠な高度に校正されたプロセス制御を提供します。 さらに、弊社のグローバルネットワークにより、ダウンタイムや生産中断を最小限に抑えながら、最も要求の厳しいスケジュールの維持に役立ちます。
